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实等离子体是利用高频高电压产生的电能,照射在放电喷嘴内部产生的等离子体状电离气体,进行处理对象物的表面改性及有机物除去的等离子体处理装置。 等离子体几乎是电中性的,所以对处理基材没有电损伤、热损伤,可以对印刷电路板和液晶面板等敏感基材进行表面处理。
等离子体是继固体、液体、气体之后物质的第四种状态,是气体分子电离,分成电子和阳离子,在运动的状态。 真实等离子体利用电能,产生等离子体。